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出版社:プルナー
Webサイト:www.pullnerfilter.com
超純水フィルターカートリッジは、超純水システム、特に半導体、エレクトロニクス、太陽光発電、製薬、精密製造業界で使用される高純度の濾過エレメントです。
半導体製造では、超純水はウェーハのリンス、ウェット洗浄、薬液の希釈、およびプロセスの準備に広く使用されています。ウェーハは粒子や汚染に非常に敏感であるため、超純水の品質はプロセスの安定性と製品の歩留まりに直接影響します。
通常の水処理フィルターとは異なり、超純水フィルターは粒子の除去だけでなく、低抽出物、低粒子脱落、化学的清浄度、安定した長期性能にも重点を置いています。
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半導体製造では、たとえ非常に小さな粒子であっても、表面欠陥、プロセスの不安定性、またはウェーハ上の汚染を引き起こす可能性があります。したがって、超純水システムでは通常、水が使用地点に到達するまでに複数の濾過段階が必要になります。
超純水ろ過の主な目的は次のとおりです。
適切に設計された超純水濾過システムは、清浄度を維持し、プロセスのリスクを軽減し、安定した半導体生産をサポートします。
超純水のろ過では材料の選択が重要です。フィルター材質は、清浄度が高く、抽出物が少なく、高純水との安定した相溶性を備えている必要があります。
超純水および脱イオン水のろ過に一般的に使用されます。 PES 膜は、優れた流動性能、安定した粒子保持力、および比較的低い圧力損失を実現します。
超純水システムのプレフィルターとしてよく使用されます。合理的な運用コストで、より大きな粒子を除去し、下流の細かいフィルターを保護できます。
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より強力な耐薬品性やガス抜き性能が必要とされる特殊な高純度用途に使用される場合があります。
低抽出物と高い清浄度が重要な特定の高純度液体用途にも選択できます。
最終的な選択は、水質、濾過段階、必要な粒子制御レベル、流量、温度、圧力、システム設計によって異なります。
超純水のろ過は、一般的な工業用水の処理に比べて、より細かいろ過精度が要求される場合が多いです。一般的なフィルターの評価には次のものがあります。0.45μm、0.2μm、0.1μm、0.05μm、またはプロセス要件に応じてさらに細かくなります。
ただし、ミクロン定格が小さいほど、すべてのシステムで必ずしもパフォーマンスが向上するとは限りません。選択したフィルタが実際の入口水質に対して細かすぎる場合、圧力損失が大きくなり、流量が不足し、寿命が短くなる可能性があります。
このため、超純水システムでは通常、段階的濾過が使用されます。粒子負荷を軽減するために上流では粗いフィルターが使用され、最終的な粒子制御のために使用ポイントの近くに細かいフィルターが設置されます。
この段階では、水から大きな粒子を除去し、下流の機器を保護します。システム設計に応じて、PP フィルターまたは他の深さタイプのフィルターが使用される場合があります。
この段階では、主要な浄化プロセス後の水の清浄度がさらに向上します。ここで使用されるフィルターには、より高い清浄度と安定した濾過性能が求められます。
UPW 循環ループでは、フィルターはパイプライン、バルブ、タンク、またはシステムの動作から生成される粒子の制御に役立ちます。
これは、水がプロセスツールまたはウェーハに接触する前の最終濾過ポイントです。この段階で使用されるフィルターには、通常、より高い精度、より少ない粒子脱落、およびより優れたバッチの一貫性が必要です。
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超純水フィルター カートリッジを選択する場合、お客様はサイズとミクロン評価以上のものを考慮する必要があります。
二次汚染を避けるために、フィルターは抽出物が少なく、粒子の放出が少ないものでなければなりません。
フィルターは、過度の圧力降下を生じることなく、必要な流量を提供する必要があります。
フィルターは、プロセスの実際の粒子制御要件に一致する必要があります。
フィルターの材質、コア、ケージ、エンドキャップ、シール部品は超純水の条件に適したものでなければなりません。
一般的なエンド接続には、DOE、SOE、222、226、フィン エンド、フラット エンド、およびカスタマイズされたインターフェイスが含まれます。シールが不十分だとバイパス漏れが発生し、濾過の信頼性が低下する可能性があります。
半導体顧客は通常、バッチ間で一貫したフィルター性能を必要とします。
Pullner は、超純水および高純水濾過用途向けのフィルター カートリッジ ソリューションを提供します。お客様の要件に応じて、PES、PP、PTFE、UPE、ナイロン、PVDF、その他のメディアを使用できます。
プルナーは、システムの位置、水質、流量、動作圧力、温度、必要な精度、既存のフィルターモデル、サンプル、図面、またはフィルターハウジングのサイズに基づいて、お客様が適切なフィルターを選択できるようサポートします。
プルナーは、半導体およびエレクトロニクスの顧客に対して、水の清浄度を向上させ、下流システムを保護し、不必要なフィルター交換コストを削減するための合理的な段階的濾過ソリューションの設計を支援します。
超純水フィルターカートリッジは、半導体水システムの重要なコンポーネントです。その機能は粒子の除去に限定されません。また、高純度水の品質を維持し、プロセスツールを保護し、安定したウェーハ製造をサポートします。
適切な UPW フィルターは、濾過段階、粒子制御要件、材料の清浄度、圧力降下、流量、システム設計に基づいて選択する必要があります。
Pullner は、半導体および高純度用途向けに、信頼性が高くコスト効率の高い超純水フィルター カートリッジ ソリューションを提供することに取り組んでいます。
Pullner 超純水フィルター カートリッジの詳細については、次のサイトをご覧ください。www.pullnerfilter.com。
コンタクトパーソン: Miss. Lucy
電話番号: 86-21-57718597
ファックス: 86-021-57711314